وتسمى "الأجهزة الدقيقة" هي عبارة عن آلات مصغرة تحتوي على مكونات ميكانيكية وإلكترونية. ويتراوح البعد الفيزيائي لها من عدة مليمترات إلى أقل من ميكرومتر واحد، وهو بعد أصغر من عرض شعرة الإنسان بعدة مرات.
تشكل الهياكل المصغرة وأجهزة الاستشعار والمشغلات والإلكترونيات الدقيقة العناصر الرئيسية للأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، ويتم تصنيف أجهزة الاستشعار الدقيقة والمحولات الدقيقة بشكل مناسب على أنها محولات، والتي تعرف على أنها أجهزة تحول الطاقة من شكل إلى آخر.
بدأت فكرة إنشاء الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة في الثمانينيات، غير أن وسائل إنتاج الهياكل الأساسية للتصميم والتصنيع لم تكن متاحة بالقدر الكافي حتى التسعينيات. وفي أواخر التسعينيات، صنع جهاز عرض باستخدام ميكروميرور(micromirrors) يستخدم الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة.
بمرور الوقت، بدأ استخدام أجهزة الاستشعار الدقيقة لعدد كبير من أنواع أجهزة الاستشعار، بما في ذلك أجهزة استشعار درجة الحرارة والضغط والمجالات المغناطيسية والإشعاع.
يوجد العديد من المزايا المهمة التي تمتلكها الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، إليك أهمها:
إلى جانب المزايا العديدة، تواجه الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة تحديات عدة، إليك أبرزها:
